DA 11268
Sláma, Pavel, 1995-
Magnetronová depozice oxidů pro TCO aplikace / Pavel Sláma. -- 2019. -- 44 listů : grafy, schémata. -- Vedoucí práce Martin Kormunda. -- Oponent Jindřich Matoušek. -- Abstract: Oxidy kovů mají nezastupitelnou roli v návrhu moderních zařízeních vyzařující a absorbující světlo v roli transparentních vodičů. Klasické řešení využívá SnInO, kde In je drahou komponentou. V této práci se vyšetřují vrstvy tvořené oxidy cínu a zinku jako potenciální náhrady indiových vrstev. Vrstvy jsou naprašovány v magnetronové aparatuře a poté zkoumány různými metodami.. -- Abstract: Metal oxides have irreplaceable role as transparent conductors in design of modern devices emitting and absorbing light. Commercial solution uses SnInO where In is expensive component. Thin films of tin and zinc oxide are studied in this bachelor's thesis as potential replacement of indium films. Films were sputtered on target using magnetron and then examined by various methods.
Kormunda, Martin. Matoušek, Jindřich. Univerzita J.E. Purkyně v Ústí nad Labem. Katedra fyziky
rentgenová spektroskopie. experimentální fyzika. ITO. oxidy kovů. ZnO. SnO. SnZnO. magnetronové naprašování. profilometrie. rentgenová fotoelektronová spektroskopie. rentgenová difrakce. čtyřbodová metoda. metal oxides. magnetron sputtering. profilometry. x-ray photoelectron spectroscopy. x-ray diffraction. four-point probe. bakalářské práce
535.651:535-34. 543.427. 53:001.891.5. (043)378.22