Number of the records: 1

Journal of vacuum science and technology B

Title statement	Journal of vacuum science and technology B: microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
Issue data	New York American Institute of Physics 2010
Year, No.	Roč. 28, č. 6, rok 2010
ISSN	1071-1023
Country	Spojené státy americké
Language	angličtina
Document kind	PERIODIKA - Přijatá čísla
References	- PERIODIKA - Souborný záznam periodika
	- PERIODIKA - Svázaný ročník periodika

Call number	Barcode	Sublocation	Volný výběr	Info
P-Č 17691		kat. fyziky PřF		In-Library Use Only

citace PRO

Number of the records: 1