Number of the records: 1  

Journal of vacuum science and technology B

  1. Title statementJournal of vacuum science and technology B: microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
    Issue dataNew York American Institute of Physics 2015
    Year, No.Roč. 33, č. 6, rok 2015
    ISSN1071-1023
    Source document Journal of vacuum science and technology B
    CountrySpojené státy americké
    Languageangličtina
    Document kindPERIODIKA - Přijatá čísla
    References - PERIODIKA - Souborný záznam periodika
    - PERIODIKA - Svázaný ročník periodika
    journal
      To the basket
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.

Accept allSettingsReject all