Number of the records: 1
Journal of vacuum science and technology B
Title statement Journal of vacuum science and technology B: microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena Issue data New York American Institute of Physics, 2016 Year, No. Roč. 34, č. 1-6, rok 2016 ISSN 1071-1023 Source document Journal of vacuum science and technology B Subj. Headings technologie * fyzika UDC 001.126-029:6 Country Spojené státy americké Language angličtina Document kind PERIODIKA - Svázaný ročník periodika References - PERIODIKA - Souborný záznam periodika 
Call number Barcode Sublocation Volný výběr Info PA 2152 3300503093 sklad F In-Library Use Only
Number of the records: 1