Number of the records: 1

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

Title statement	Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
Year, No.	Roč. 26, č. 3, rok 2008
ISSN	1071-1023
Country	Spojené státy americké
Language	angličtina
Document kind	PERIODIKA - Přijatá čísla
References	- PERIODIKA - Souborný záznam periodika
	- PERIODIKA - Svázaný ročník periodika

citace PRO

Number of the records: 1