Počet záznamů: 1
Depozice ultratenkých vrstev oxidů cínu dopovaných železem a podobných systémů
Údaje o názvu Depozice ultratenkých vrstev oxidů cínu dopovaných železem a podobných systémů / Matěj Šebík Osobní jméno Šebík, Matěj, (autor diplomové práce nebo disertace) Fyz.popis 40 listů : grafy, schémata + 1 CD Poznámky Vedoucí práce Martin Kormunda Abstrakt Tato diplomová práce se zabývá vytvářením tenkých vrstev oxidů cínu dopovaných železem a jejich charakterizací. Vrstvy se vytvářejí metodou DC pulzního magnetronového naprašování a RF magnetronovým naprašováním. Charakterizace těchto vrstev je prováděna metodou rentgenové fotoelektronové spektroskopie, hmotnostní spektrometrií a spektroskopickou elipsometrií. Na těchto výstupech jsou zkoumány různé parametry depozičního procesu a jejich vliv na výslednou vrstvu. Předpokládá se využití těchto vrstev v optických senzorech plynů. This thesis concerns with the deposition processes of iron doped tin oxide thin films and their characterisation. The layers are produced by DC pulsed magnetron sputtering and RF magnetron sputtering. Characterisation of these layers is carried out by X-ray photoelectron spectroscopy, mass spectroscopy and spectroscopic ellipsometry. Different parameters of the deposition process are studied from the outputs and their influence on a resulting layer. These thin layers are planned to be used in optical gas sensors. Dal.odpovědnost Kormunda, Martin (vedoucí diplomové práce nebo disertace) Dal.odpovědnost Univerzita J.E. Purkyně v Ústí nad Labem. Katedra fyziky (udělovatel akademické hodnosti) Předmět.hesla aplikovaná fyzika Předmět.hesla tenké vrstvy * DC pulsní magnetronové naprašování * RF magnetronové naprašování * XPS * hmotnostní spektrometrie * spektroskopická elipsometrie * optické plynové senzory * thin layers * pulsed DC magnetron sputtering * RF magnetron sputtering * mass spectrometry * spectroscopic ellipsometry * optical gas sensors Forma, žánr diplomové práce Konspekt 53 - Fyzika MDT 53-027.22 * (043)378.2 Země vyd. Česko Jazyk dok. čeština URL https://portal.ujep.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=00169760 Druh dok. Vysokoškolské práce 
Signatura Čár.kód Dislokace Volný výběr Info DA 6408 3300706408 sklad C pouze prezenčně
Počet záznamů: 1