Počet záznamů: 1
Journal of vacuum science and technology B
- PA 564
Journal
Journal of vacuum science and technology B: microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena. -- Roč. 31, č. 1-6 (2013). -- New York American Institute of Physics. -- ISSN : 1071-1023.
In: Journal of vacuum science and technology B.
technologie. fyzika
001.126-029:6
Počet záznamů: 1