DA 9760
Garajová, Veronika, 1995-
Vytváření vybraných oxidů mědi magnetronovým naprašováním / Veronika Garajová. -- 2018. -- 46 listů : grafy, schémata. -- Vedoucí práce Martin Kormunda. -- Oponent Jindřich Matoušek. -- Abstrakt: Cílem této bakalářské práce je vytvořit tenké vrstvy CuO a Cu2O fází pomocí reaktivního magnetronového naprašování. Výzkum tenkých vrstev oxidů mědi je důležitý např. pro budoucí transparentní elektroniku (solární články, plynové sensory, optické displeje). Výhodou je levná výroba a bohatá dostupnost mědi. Pro získání specifických fází jsme v průběhu depozice připouštěli různé množství kyslíku. Zjistili jsme, že při naprašování pouze v argonové atmosféře dochází vlivem oxidace tenké vrstvy na vzduchu k utváření Cu2O fáze. CuO fáze se utvářely při množství 0,26 sccm kyslíku.. -- Abstrakt: The main goal of this bachelor thesis is to achieve CuO and Cu2O phases in thin films by reactive magnetron sputtering. Research of copper-oxide thin films is important for future transparent electronics like solar cells, gas sensors and optical displays. Low costs and amount of copper on Earth are the main advanteges. For these specific phases we used different amount of oxygen during the deposition. We found out, that using only argon atmosphere during deposition leads to Cu2O phases. It is caused by oxidation of the thin film in the air. CuO phases are achieved by using 0,26 sccm of oxygen.
Kormunda, Martin. Matoušek, Jindřich. Univerzita J.E. Purkyně v Ústí nad Labem. Katedra fyziky
nanotechnologie. experimentální fyzika. magnetronové naprašování. tenké vrstvy. oxidy mědi. magnetron sputtering. thin films. copper oxide. bakalářské práce
53:001.891.5. (043)378.22